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1、美國MKS控制閥產(chǎn)品介紹
上游流量控制閥是比例控制閥，設計用于精確控制過程上游的氣體流量。248D控制閥是一種改進的電磁閥，當提供控制電流時將調(diào)節(jié)氣體流量。當與MKS控制器和適當?shù)牧髁總鞲衅饕黄鹗褂脮r，248D閥門可調(diào)節(jié)氣體流量，同時保持準確和精確的壓力或流量。148J全金屬控制閥可最大程度地減少顆粒產(chǎn)生并減少可能導致設備故障和產(chǎn)量下降的殘留污染物的釋氣。為了避免污染和腐蝕，使用了保證外部泄漏率小于1 x 10-10 atm cc/sec(He)的金屬密封件。148高溫閥可在150°C的過程溫度下運行。
2、美國MKS控制閥產(chǎn)品特征
與其他高流量控制閥相比，MKS 248D閥門提供更好的響應時間。這可以通過使用“平衡力”設計來自動抵消閥門內(nèi)的壓力引起的不平衡。彈性體密封的154閥門設計用于0.2至200 slm的流量。無需特殊工具即可輕松調(diào)節(jié)或更換248D閥門的孔口。可能需要進行調(diào)整以消除由于正常運行磨損導致的閥門泄漏。當磨損過度或改變閥門的流量范圍時需要更換。無需特殊工具即可輕松調(diào)整或更換，調(diào)節(jié)氣體流量，同時保持精確的壓力或流量。
3、美國MKS控制閥產(chǎn)品優(yōu)勢
隨著增加的電流施加到螺線管上，連接到電樞的閥座被抬離可調(diào)孔。兩個螺旋彈簧使閥體內(nèi)的電樞居中并抵抗磁性提升力。這些彈簧最大限度地減少摩擦和滯后，產(chǎn)品特點是控制性能不佳的主要原因。通過1249控制閥驅(qū)動器提供操作電磁閥所需的驅(qū)動信號，248D閥可用于壓力或流量控制。
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4、美國MKS控制閥產(chǎn)品技術(shù)數(shù)據(jù)
①類型：148J全金屬流量控制閥
②滿量程：流量范圍10-30,000立方厘米
③最小可控流量：小于2%滿量程
④閉合電導泄漏：小于1%滿量程（15 psid到atm）
⑤暴露材料：316 SS、鎳、Elgiloy、KM45、鐵氟龍
⑥密封材料：金屬
⑦配件類型：4 VCR®公頭
⑧工作溫度：15至50°C
5、美國MKS控制閥產(chǎn)品功能
①316 SS、鎳、Elgiloy、KM45、鐵氟龍
②10至30,000 sccm滿量程流量范圍
③4 VCR®外螺紋接頭
④可烘烤至150°C
6、美國MKS控制閥產(chǎn)品部分型號
①美國MKS控制閥0248D-00010RK
②美國MKS控制閥0248D-00010RV
③美國MKS控制閥0248D-00010SV
④美國MKS控制閥0248D-00050RV
⑤美國MKS控制閥0248D-00050SV
⑥美國MKS控制閥0248D-00100RK
⑦美國MKS控制閥0248D-00100RV
⑧美國MKS控制閥0248D-00100SN
⑨美國MKS控制閥0248D-00100SV
⑩美國MKS控制閥0248D-00500RV
?美國MKS控制閥0248D-00500SV
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?美國MKS控制閥0248D-10000RV
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