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MKS壓力控制器不同的型號(hào)有各種的優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)，下面是我們?yōu)槟鷰?lái)的美國(guó)MKS壓力控制器PPCA產(chǎn)品特征，歡迎您繼續(xù)往下閱讀！
1、美國(guó)MKS壓力控制器PPCA產(chǎn)品介紹
智能集成壓力控制解決方案可為困難的CVD工藝和一般真空應(yīng)用提供精確控制。他們獨(dú)特的設(shè)計(jì)非常適合需要高性能和簡(jiǎn)單集成到工藝工具中的應(yīng)用。節(jié)氣門(mén)組件內(nèi)的所有控制、通信和驅(qū)動(dòng)電路無(wú)需安裝單獨(dú)的電子模塊。集成壓力控制器與真空室一起使用，以控制進(jìn)入和離開(kāi)真空室的氣流。MKS集成壓力控制器包括Baratron®壓力測(cè)量、電磁流量控制閥和集成控制電子設(shè)備。PPCA壓力控制器為關(guān)鍵工藝應(yīng)用提供壓力測(cè)量和控制，例如背面晶圓壓力控制、傳輸室壓力控制和工藝氣體面板壓力平衡。該裝置可配置用于上游（入口）或下游（出口）壓力控制。這是在一個(gè)緊湊的封裝中完成的，與以前完成任務(wù)所需的多組件系統(tǒng)相比，節(jié)省了關(guān)鍵空間。
2、美國(guó)MKS壓力控制器PPCA產(chǎn)品特征
PPCA利用MKS Instruments領(lǐng)先的Baratron®電容壓力計(jì)技術(shù)進(jìn)行壓力測(cè)量。它與比例控制閥和最新的控制電子設(shè)備集成在一起，提供快速、準(zhǔn)確的壓力控制，并通過(guò)關(guān)鍵流量監(jiān)控作為系統(tǒng)診斷。PPCA可配置為10至1000 Torr滿(mǎn)量程壓力，控制范圍為滿(mǎn)量程的5至100%。這種可配置性使該器件適用于傳輸室壓力控制、關(guān)鍵背面晶圓壓力控制以及運(yùn)行排氣壓力控制應(yīng)用。根據(jù)工藝條件，控制閥可配置為5至5000 sccm滿(mǎn)量程的滿(mǎn)量程流量。PPCA配備數(shù)字（DeviceNet™或EtherCAT®）I/O，可直接集成到新應(yīng)用或改造應(yīng)用中。該設(shè)備的微型USB用戶(hù)界面增強(qiáng)了現(xiàn)場(chǎng)調(diào)節(jié)和組件診斷功能，幾乎可以通過(guò)任何帶有網(wǎng)絡(luò)瀏覽器的PC進(jìn)行訪(fǎng)問(wèn)。
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3、美國(guó)MKS壓力控制器PPCA產(chǎn)品模擬輸出
1249可由±15 VDC或24 VDC的常用電源供電，功耗不到一瓦（不包括閥門(mén)）。它接受來(lái)自PC、PLC或其他系統(tǒng)控制器的0-5 VDC、0-10 VDC或4-20 mA控制信號(hào)輸入。1249的輸出信號(hào)經(jīng)過(guò)定制，可滿(mǎn)足148或248比例控制閥的要求。如果施加到1249的電源為±15 VDC或+30 VDC，則1249還可用于驅(qū)動(dòng)154閥。
4、美國(guó)MKS壓力控制器PPCA產(chǎn)品特點(diǎn)
①背面晶圓冷卻
②對(duì)設(shè)定點(diǎn)的快速響應(yīng)，超調(diào)最小
③金屬密封、潔凈室制造的裝置滿(mǎn)足關(guān)鍵的高純度應(yīng)用需求
④溫度補(bǔ)償可在其工作溫度范圍內(nèi)保持器件精度
5、美國(guó)MKS壓力控制器PPCA產(chǎn)品規(guī)格
①壓力范圍：10、20、50、100、200、500或1000 Torr滿(mǎn)量程
②流量：50、200、1000、5000、10000、20000、30000、50000（sccm）
③壓力分辨率：0.1托
④配件類(lèi)型：Swagelok®4 VCR外螺紋
⑤壓力控制精度：讀數(shù)的±1.0%（≥10%滿(mǎn)量程）滿(mǎn)量程的±0.2%（小于10%滿(mǎn)量程）
⑥傳感器超壓限制：所有量程均為2x滿(mǎn)量程
⑦最大壓差：45磅/平方英寸
⑧爆破壓力：1500磅/平方英寸
⑨控制方式：上游或下游
⑩壓力測(cè)量精度：讀數(shù)的±0.5%
?零溫度系數(shù)：滿(mǎn)量程的±0.02%/°C
?跨度溫度系數(shù)：±0.04%讀數(shù)/°C
?控制范圍：大于滿(mǎn)量程的5至100%
?典型響應(yīng)時(shí)間：小于1.0秒（不包括系統(tǒng)時(shí)間常數(shù)）
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